Литографические машины, производимые ASML, традиционно используются для создания полупроводников, однако компания IMEC нашла им новое, нестандартное применение. Теперь с их помощью можно производить нанопоры — крошечные отверстия в материалах, размером в несколько нанометров. Для сравнения, такие поры тоньше человеческого волоса в 10 000 раз. Нанопоры могут использоваться в биомедицине для секвенирования ДНК, разработки датчиков и доставки лекарств. Команда IMEC разработала метод массового производства таких нанопор с помощью EUV-литографии, что позволяет создавать точные и однородные массивы на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Эта инновация может привести к внедрению новых методов диагностики, персонализированной медицины и снижению стоимости медицинских тестов, переместив нанопоры из лабораторий в клиники и исследовательские центры.