Зеленоградский завод «Микрон», входящий в группу «Элемент», стал победителем тендера Минпромторга на разработку автоматизированной установки «Лучник». Контракт оценивается в 1,56 млрд рублей. Это оборудование крайне важно для производства микросхем, так как оно обеспечивает высокую точность наложения слоев при печати чипов на кремниевых пластинах. Основная цель проекта — создание отечественного аналога установки ARCHER 10 XT от KLA Tencor. Установка будет работать с пластинами диаметром 150 и 200 мм, обеспечивая точность наложения слоев до 130 нм и производительность не менее 75 пластин в час. Для этого будут применяться встроенные интерферометры и алгоритмы машинного зрения. Проект требует высокой точности и разработки сложного ПО, а завершить работы необходимо до июля 2029 года. Наличие производственной линии 200-миллиметровых пластин на заводе «Микрон» позволит быстро тестировать прототипы, что увеличивает шансы на успех проекта «Лучник».